超薄纳米涂层等离子表面处理设备
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超薄纳米涂层等离子表面处理设备

超薄纳米涂层等离子表面处理设备
上海伯东代理比利时 Europlasma 等离子机, 真空条件下, 通过工艺 Nanofics ® 或 PlasmaGuard® 在材料浅表面实现低压等离子表面聚合或者原子层沉积, 从而赋予材料新的功能, 不影响材料本身的性能, 对三维结构以及复杂形状的材料表面都可实现均匀性涂覆, 形成疏水, 疏油, 亲水等功能的超薄纳米涂层, 厚度从 5nm 至 500nm 不等. 典型应用: 微流控芯片内流道表面处理.

超薄纳米涂层等离子表面处理设备型号:

型号

腔体体积

腔体尺寸

托盘数量

托盘尺寸

托盘可用面积

前驱体数量

Junior Nanofics®

50L

500mm x 400mm x

250mm

1

360mm x

360mm x

40mm

0.12㎡

1

CD 600 Nanofics®

282L

900mm x

570mm x

550mm

3

765mm x

512mm x

40mm

0.39m²

1

CD 1000 Nanofics®

490L

1000mm x

700mm x

700mm

3

858mm x

672mm x

40mm

0.58m²

1

CD 600 PlasmaGuard®

282L

900mm x

570mm x

550mm

3

765mm x

512mm x

40mm

0.39m²

3

CD 1000 PlasmaGuard®

490L

1000mm x

700mm x

700mm

3

858mm x

672mm x

40mm

0.58m²

3

CD 1836 Nanofics®

1836L

1600mm x

850mm x

1350mm

4(垂直)

760mm x

270mm x

1060mm

0.22m²(卡槽)

1


超薄纳米涂层等离子表面处理设备设计
控制系统: 工业 PLC 与17英寸触摸屏
过程与仪表图(P&ID): 实时显示设备状态
用户管理: 基于用户级别的登录, 对于操作员来说,工程师模式接入
配方管理: 配方数量不限, 工艺参数独特
系统诊断功能: 用于故障处理和维护
报警管理: 系统对警报进行管理并提醒操作人员
发电机: 具有自动负载匹配能力, 频率 13.56 kHz
真空测量: 高质量的真空测量设备
气体管道: 多个气体管道, 适用于各种工艺气体 (O2, N2, Ar, CF4, He, H2 等)
气体截止阀: 每条气体管路上的截止阀, 防止泄漏
质量流量控制器: 用于气体控制的电子调节质量流量控制器
节流阀: 自动控制所需的压力-流量比
洗涤系统: 废气过滤
CE 认证

上海伯东 Europlasma 等离子表面处理设备主要应用
1. 薄膜过滤: 锂电池行业, 精密仪器等的疏水, 疏油涂层, 驻电极
2. 无纺布和功能性纺织物: 运动户外产品的疏水, 疏油涂层
3. 可穿戴电子产品, 无线耳机, 手环, 手表, 助听器和 PCB 元器件疏水涂层, 电子屏蔽涂层, 蚀刻, 清洗与活化
4. 医疗, 生命科学领域的微流控芯片疏水涂层, 医用导管, 口罩, 针座活化, 人体植入, 细胞培养瓶活化. TC 处理.

Europlasma 等离子表面处理设备

若您需要进一步的超薄纳米涂层等离子表面处理设备了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-975-571-910
qq: 2821409400 
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