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ph-instruments SRG 高精度磁悬浮转子真空计
上海伯东代理德国 ph-instruments 高精度磁悬浮转子真空计, 基于旋转转子 SRG 技术开发, 即使在高真空测量应用中, 也可以保持 +/- 1% 的读数精度, 并且长期稳定.
ph-instruments SRG 高精度磁悬浮转子真空计在高真空测量中的优势
长期稳定, 无需校准: 读数随时间漂移 <1% 每年
清洁, 对工艺无影响: 没有内在的污染源, 真空计材质不锈钢, 耐腐蚀
测量范围广: (1000) 100 至 5x10-7mbar 满足不同应用
涂层/污染/温度/磁场不敏感
快速响应时间
自主工作, 结构紧凑, 无故障, 方便系统集成
兼容性和灵活性:多种法兰接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析诊断功能, 易于设置和控制,支持数据存储, 24VDC 和电池供电
ph-instruments 高精度磁悬浮转子真空计应用(替代离子规)
高精度真空计校准系统: 提供真空计校准系统或单独真空规
低温真空绝热:方便集成, 在线监测
半导体过程压力测量（用于反应气体或沉积）: 离子注入, 刻蚀, CVD, PVD 等
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