普发氦质谱检漏仪

SRG 磁悬浮转子真空计应用优势
上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀和沉积, 无灯丝设计, 替代传统的离子规 (冷阴极离子规或热阴极离子规), 适用于半导体, 镀膜, 显示面板, 光伏等先进真空工艺中. 提供高精度, 长期稳定, 无需校准的真空测量.

先进真空工艺测量难点: 在严苛的先进真空工艺中, 通常会使用具有一定腐蚀性的气体, 比如 BFз, PH3, 气态有机溶剂等, 使用传统热阴极离子规, 真空状态下, 热阴极离子规通过加热灯丝发射电子, 热阴极离子规内部灯丝加热过程与气体反应产生带电粒子, 不仅仅快速污染沉积在离子规上, 使离子规几周就会污染损坏, 这些带电粒子最终还会沉积在分子泵和晶圆表面, 造成更大的损失.

使用传统冷阴极离子规, 虽然没有热发射的灯丝, 但是气体电离依赖强磁场, 对于某些敏感性测试有很大影响. 阳极棒也容易因电离直接碳化, 需要频繁的更换.严重影响工艺进程.

* 上图 被污染的离子规

并且离子规因自身特性, 测量时间越长, 越会改变直连腔体的真空度, 导致测试不准确

* HC on: 热阴极真空规打开
* HC off: 热阴极真空规关闭
* CC on: 冷阴极真空规打开

使用上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计优势一：无灯丝,  磁屏蔽设计, 无内在污染源. 耐腐蚀和沉积, 对工艺无任何影响
离子规会发热,导致加热真空腔体并出现离子逃逸, 污染真空腔体, SRG 磁悬浮转子真空计无灯丝, 磁屏蔽设计, 在真空腔体中无任何电子设备, 无馈通, 采用机械测量的原理, 全金属材质, 耐高温, 超洁净, 确保耐腐蚀和沉积, 不会出现任何的二次污染.



使用SRG 磁悬浮转子真空计优势二: 宽泛的高真空测量范围, 高精度, 免维护, 无需校准, 长期稳定
传统离子规, 易损坏, 使用几周就需要清洁或更换灯丝, 漂移显著, 需要定期的校准.
SRG 磁悬浮转子真空计免维护, 无需校准(读数随时间漂移 <1% 每年), 不受气体种类的影响.可长期使用.
 

技术指标	DosiTorr SRG 磁悬浮转子真空计	传统离子规(冷阴极离子规或热阴极离子规)
测量精度	±1% (0.1-10⁻⁶ mbar)	±10-20%
长期稳定性	<1%	>5%
耐腐蚀性	316L不锈钢(1.4404), 耐腐蚀, 无二次污染风险	钨丝
维护周期	磁悬浮设计（免维护）	几周维护

 *上图: 测量数据与真实真空度的对比

使用 SRG 磁悬浮转子真空计优势三: 耐高温, 集成温度传感器自动温度调节
上海伯东德国 ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计, 提供烘烤温度 450°C 型号和各种可扩展的型号, 满足高温真空应用.


综上所述, 上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计在严苛的先进真空工艺测量中, 提供可持续, 可靠并且长期稳定, 没有内在污染源的真空测量方案!

 

若您需要进一步的了解 ph-instruments 高真空磁悬浮转子真空计, 请参考以下联络方式

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