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SRG 磁悬浮转子真空计替代离子规适用于腐蚀和沉积环境
在半导体, 显示面板等先进真空工艺中, 通常会使用具有一定腐蚀性的气体, 比如 BFз, PH3, 气态有机溶剂等, 不论使用冷阴极离子规或热阴极离子规, 真空状态下, 离子规内部灯丝加热过程与气体反应产生带电粒子, 不仅仅快速污染沉积在离子规上, 使离子规几周就会污染损坏, 这些带电粒子最终还会沉积在分子泵和晶圆表面, 造成更大的损失.
被污染的离子规
高污染行业, 在使用离子规 (冷阴极或热阴极)时, 普遍面临以下问题
稳定性缺陷: 无法提供可靠精确的真空压力数据
腐蚀失效: 沉积物堆积和气体腐蚀导致离子规快速损坏
设备成本: 高额直接更换成本（频繁替换离子规+停机损失）
衍生风险: 涡轮分子泵损坏或晶圆报废
上海伯东代理德国 ph-instruments SRG 高精度磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无灯丝设计, 没有内在的污染源, 不会造成二次电离污染沉积. 完全替代离子规, 提供可靠的, 长期稳定的压力测试, 更适合高污染的严苛工艺环境.
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技术指标 |
DosiTorr SRG 磁悬浮转子真空计 |
传统离子规(冷阴极离子规或热阴极离子规) |
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测量精度 |
±1% (0.1-10⁻⁶ mbar) |
±10-20% |
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长期稳定性 |
<1% |
>5% |
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耐腐蚀性 |
316L不锈钢(1.4404), 耐腐蚀, 无二次污染风险 |
钨丝 |
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维护周期 |
磁悬浮设计（免维护） |
几周维护 |
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