电子束蒸发镀膜机 E-Beam

上海伯东代理电子束蒸镀设备, 真空镀膜机专精于金属及氧化物薄膜的制备, 可用于超导量子实验室制备超导结 ( 量子比特和约瑟夫森结 ) 和量子器件, 可以制备大面积, 高稳定性和可重复性超导结. 提供各种类型的 MBE, E-beam, Sputter, IBE. 提供客制化设备, 擅长各种类型系统的集成.

电子束蒸发镀膜机 E-Beam

 EBS-150
 真空度 5E-8 torr, 最大 8inch 样品

电子束蒸发

 EBS-150 UHV
 真空度 5E-10 torr, 最大 6inch 样品

 EBS-300 Dual
 真空度 5E-7 torr, 双 E-gun

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